中国电科48所成功研制大功率金刚石MPCVD首台样机

　　近日，中国电科48所中电科三代半(湖南)公司在超宽禁带半导体装备关键技术领域取得突破，成功研制大功率金刚石MPCVD首台样机。

　　金刚石导热性能可达铜的5倍以上，是破解激光器、微波芯片、AI算力芯片、大功率电力电子模块等关键器件散热瓶颈的核心材料。当前，大尺寸金刚石生长普遍面临效率低、应力高、均匀性差等行业共性难题。48所依托国家第三代半导体技术创新中心(湖南)平台优势，快速突破高功率高稳定微波传输与耦合、大尺寸金刚石晶圆生长与应力控制等关键技术，自主研制出大功率金刚石MPCVD装备样机。目前，该装备已进入用户应用验证阶段。

　　下一步，48所将持续深化“装备-材料-器件-应用”协同发展模式，加快金刚石半导体核心装备技术迭代与产业化进程，为我国金刚石半导体未来产业筑牢坚实装备根基。

　　悦读.中国电科