平面CT I 专为先进半导体封装、功率模块及高多层PCB打造的360°多维检测方案
随着Chiplet开启了三维集成的新纪元,半导体结构的复杂程度呈几何倍数增长。无论是在拥有细密埋孔的高端PCB载板上,还是在采用多层减薄堆叠的IGBT功率器件内部,焊点与线路在空间上高度重叠,形成了物理意义上的‘检测黑箱’。面对传统光学与超声波扫描效率低下的困境,能够实现分层解析的平面CT技术,正成为打通PCB制造、IGBT封装及先进封测环节质量瓶颈的关键钥匙。
奕瑞科技推出的面向先进封装与多层电路板的平面CT检测系统,依托从核心部件到算法的全链路自研优势,不仅能精准锁定TGV、微盲孔、背钻孔等深层缺陷,更以无损透视与高效运转,为高端半导体制造全链条提供硬核的质量保障。
硬核穿透
高能微焦点+超宽角度
系统搭载了奕瑞自研的90kV至180kV全系列高能一体化微焦点闭管射线源。配合118°的超宽出束角度,轻松穿透大尺寸IC载板与复杂3D封装体,确保底层影像不丢失、高密度材料边缘盲区无遗漏。
3D透视
360°环形飞拍扫描+微米级高分辨率
告别2D时代的图像重叠干扰,系统采用精密的360°环形飞拍扫描技术,搭配行业标杆级的25μm超小像素CMOS平板探测器(实现真正的高精度微米级分辨)。通过高精度3D立体透视,将复杂的BGA、TGV、微盲孔、背钻孔重叠结构层层剥离,精准完成样品内部缺陷的在线检测与判定。
智能高效
边扫边建+AI智能判定
效率是量产的关键,系统结合自研3D重建与断层分析算法,通过3D数据自动切层、自动弯曲样品校正、自动缺陷AI判定等,仅需几分钟即可完成高精度检测流程,单FOV最快秒级检测,自动化操作可减少人工干预,提升检测一致性,实现高速高效的一体化质控。
全链自研
筑牢技术与供应链双重护城河
为高端半导体质量管控的核心支撑,奕瑞的底气源于“底层技术”的深厚积淀。依托在电真空技术、材料科学领域的长期布局,以及自有Fab工厂对半导体工艺的深刻理解,奕瑞真正实现了从微焦点射线源、平板探测器等核心部件,到整机系统与智能算法的“全链路自研与国产化”。
这种覆盖“材料、部件、系统、软件、算法”的垂直整合能力,不仅为工艺安全筑牢了坚实防线,更从根本上保障了半导体与PCB企业供应链的安全稳定,以及极致的本地化服务响应速度。
依托在先进封装与高阶PCB领域沉淀的底层穿透与高精度成像技术,目前奕瑞科技已构建起横跨半导体封测、新能源汽车(如厚层IGBT模块)、储能、动力及消费锂电池离线及在线CT检测的全场景、全产品解决方案矩阵。未来,奕瑞将继续以差异化的全链路技术优势,满足不同行业、不同场景的精密检测需求,全方位赋能企业高质量发展,持续定义工业精密检测的新标杆。
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