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尹志尧:中国已能做最先进设备 中微团队创研发奇迹

沄森™2026-05-17
在《对话》节目中,中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼总经理尹志尧分享了公司在大平板设备领域的突破。2023年12月,中微决定进入这一领域,此前相关工艺设备全部依赖进口。这种设备重达150吨,长宽各15米,高度相当于两层半楼

在《对话》节目中,中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼总经理尹志尧分享了公司在大平板设备领域的突破。2023年12月,中微决定进入这一领域,此前相关工艺设备全部依赖进口。这种设备重达150吨,长宽各15米,高度相当于两层半楼。根据尹志尧的经验,开发这样的设备通常需要3到7年时间。然而,中微的团队仅用12个月就从零开始制造出可运转的设备,不到4个月便达到客户的下一代要求,并在18个月内将设备运至生产线并通过核准。目前,中微已经具备了制造最先进设备的能力。

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