自研“天车”量产突围的背后

　　开栏的话

　　江苏，我国民族工业的重要发祥地，是全国制造业门类最多、产业链最完整、配套设施最完善的省份之一。

　　习近平总书记对江苏实体经济和制造业发展一直高度重视、寄予厚望，“推动制造业高端化、智能化、绿色化发展”“因地制宜加快发展新质生产力”“坚持推动传统产业改造升级和开辟战略性新兴产业、未来产业新赛道并重”等殷殷嘱托，为我省推动制造业高质量发展指明了方向和路径，提供了根本遵循。

　　从工业发祥地到智造新高地，从制造大省阔步迈向制造强省，再到聚力打造具有国际竞争力的先进制造业基地，新时代的江苏制造，始终扎根产业沃土、聚力提质增效、勇攀发展高峰。今日起，本报推出“发现江苏制造之美”专栏，以权威解读锚定政策高度、以深度调研挖掘产业深度、以一线探访传递发展温度，全景呈现江苏实体经济固本兴新、转型升级的亮眼成效，全面阐释制造强省建设的奋进密码，立体彰显新时代制造业的硬核之美、创新之美、匠心之美、发展之美。

　　□ 本报记者付奇李嘉豪统筹王拓

　　头顶，轨道交错，半导体天车携带晶圆盒沿轨道快速移动，会车、分道有条不紊；身旁，储存仓库仿若公交场站，一辆辆天车自动停靠、待命、出车；眼前，测试人员手持长杆，在天车路线上进行各项指标的验证测试……这是记者在江苏道达智能科技公司的测试车间里，见到的一幅“人机共忙”场景。

　　“这是企业全自研的第二代磁驱天车‘腾龙’，前几天我们刚拿到一家半导体高端制造头部客户的战略级订单，终于能量产了。”7月30日下午，公司董秘胡永群向记者分享了这一好消息。

　　啥是“天车”？“半导体晶圆厂里生产的不是普通零件，而是在指甲盖大小的硅片上，刻出几十亿个微观电路。涂胶、曝光、显影、刻蚀、沉积、清洗……一片晶圆要在上百种设备间来回穿梭，经过几百道工序，天车就是产线上不可或缺的搬运工具。”胡永群指着空中悬挂式搬运车解释说。

　　原来，晶圆本身十分脆弱，稍有磕碰就会报废，其制造对环境洁净度要求极高，一粒尘埃都能让晶圆致损，从而影响芯片产出率和质量。此外，晶圆生产工厂里的设备动辄数亿元，产线不能闲置，否则会造成巨额损失，必须充分流转起来。在这样的严苛条件下，天车系统可谓是晶圆厂的“物流大动脉”。

　　纵览全球半导体天车行业，巨头都在国外——美国应用材料公司和IBM是天车控制软件领域的绝对头部，日本的村田机械和大福公司长期把控硬件设备核心技术。全球晶圆厂要想购买设备，绕不开这几家企业，为了让“美国大脑”控制好“日本四肢”，还要组建庞大的运维队伍持续优化产线。而中国快速进步的制程技术和蓬勃发展的半导体行业，将“搬运核心设备系统自主可控”这个重要命题推到了台前。

　　作为如今天车领域的佼佼者，道达智能科技成立之初并未想过造天车。公司2017年7月成立于昆山，起步于“软件”，以屏幕生产车间的自动化控制为主业，随后业务逐步从工业软件转型到硬件板块。

　　彼时，国产天车领域还是“无人区”，前期研发投入成本压力、海外巨头专利封锁、国产设备客户信任壁垒，每个环节都是挑战。

　　“在业内，一个12寸晶圆厂家，要花1亿元建控制系统，花10亿元建天车系统，‘造车’顺理成章，但也困难重重。”道达智能科技总经理付斌回忆起公司当时的战略抉择，第一道“槛”，就是“造哪种车”。

　　市场上，天车有两种主流方案，一种是轮驱式，一种是磁驱式，前者发展早，初始成本低，但车轮与轨道持续摩擦会带来振动和微尘，需要定期维护和更换；后者采用磁悬浮无接触驱动技术，更加适应先进制程的洁净度要求，但技术难度更高。

　　如何尽快攻克这一技术难题呢？道达智能科技给出的办法是：搬迁。

　　2022年3月，道达智能科技迁至南京市江宁区，原因无他，这里是全国智能电网产业最集聚的地方。

　　“我们就是为了研发而来，只有在南京才能做出符合我们要求的零部件。”付斌解释说，天车里的元器件没有一个是标准品，都需要深度定制。江宁区电气产业供应链完备，集聚南瑞集团、菲尼克斯等200多家智能电网规上企业，具备从核心器件到成套设备的完整生态，道达智能科技的一个个实验样机，就是在这样的“链”上协作中“手搓”出来的。

　　攻克了无接触供电，还要补上国产可变轨电机的功课。

　　在半导体车间，每道工序对应数个工位，天车轨道往往要铺几十公里，“路口”更是有好几千个，上千台车需要同时运作。“拿磁悬浮列车做对比，改变方向需要转换轨道岔，是被动的。但在半导体车间，天车的运动节拍以秒计算，频繁的道岔转换会打乱运行节奏、拖长工序时间。”付斌说，“因此，我们和南京的高校联合攻关，率先自主开发出可主动变轨的直线电机，满足了±1毫米定位精度、5.3米/秒运行速度及复杂路网群控需求。”

　　做软件出身的道达智能科技，实际上搭建了一个晶圆厂的“滴滴出行”系列，天车就是“司机”，控制系统就是“交通总指挥”，系统具备高精度定位与智能路径规划能力。这套系统可让晶圆厂实现无人化、全自动生产。

　　如今，公司在第一代天车“麒麟”的基础上，升级研制出磁驱天车“腾龙”，实现关键零部件100%国产化，一举打破国外企业长达20多年的垄断。而控制系统与设备制造全自研的“软硬件协同”能力，正是道达智能科技最大的竞争优势。

　　如果说，半导体行业爆发，天车需求大增是“天时”，选择江宁区，靠近供应链是“地利”，那么逆势选择从“头”攻关，全力以赴实现国产替代则是“人和”。

　　记者在产业园里发现，道达智能科技的厂房非常狭长。“我们就是看中了这个地块的南北纵深，能装得下近百米长的天车测试线，可以让设备满速运转。”参与选址的胡永群道出企业的决心，“原生研发是核心，一切工作围绕攻坚进行。”

　　“技术靠买、产品靠买，能不能造出天车？也可以。但核心技术不掌握在自己手里，企业就无法可持续发展，更谈不上做到世界一流。”付斌一直坚信研发的力量，作为天车系统领域的新玩家，道达智能科技尝试改变“美国大脑+日本四肢”的游戏规则，拼出一条“中国大脑+中国四肢”的新路，并反向开启海外布局。打破垄断、走向世界，这样的破局，还在继续。

　　记者手记>>>

　　从软件起家，到部件制造，再到系统集成，道达智能科技的成长历程中有一条企业取得成功的鲜明线索——每逢关键节点，紧紧围绕“上下游”和“左右邻”做决策，稳妥进行小幅跨界、同源升级。

　　国内不少技术领域的“空白”，很多企业都能看到，但道达智能科技之所以成功，在于其选对了路。“道达可以说是在南京的产业生态中‘长’出来的。”一路跟踪采访中，企业负责人常常提到当年的搬迁决策，这背后是对供应链的一次投注，也真实折射出转型之难、自研之艰。

　　当前，我省有大量企业正努力通过核心零部件自主可控来推动产业升级，在这一过程中，还需警惕盲目跨行业转型。既要有技术攻坚的决心和韧性，也要有因企制宜的方法，可依托自身核心工艺、技术积累、产业链资源，聚焦关联性强、适配度高、技术相通的相邻领域进行拓展布局，在更多国产“空白”处留下“江苏自造”的印记。