成本仅 DUV 光刻 1/10：璞璘气压式纳米压印设备量产 8" 光芯片晶圆

　　 IT之家6月5日消息，据璞璘科技(PRINANO)消息，该企业近日与客户力策科技合作，采用真空气压式晶圆级NIL(纳米压印)图案化设备PL-AS，配合定制化双层压印胶材料体系与核心工艺，完全绕开DUV光刻路线实现8英寸光芯片晶圆可规模化量产，并将芯片制造成本压缩至传统DUV方案的1/10。

　　 IT之家了解到，PL-AS机台支持＜10nm的线宽分辨率，晶圆整面压印压力均匀性误差低于0.5%，支持无残余层压印工艺，对准精度可定制至百纳米级。同时其支持平面或曲面衬底，兼容硬质与柔性模板。

　　相较传统的辊压法晶圆级NIL，PL-AS通过面施力保障晶圆上每一个纳米级单元受力完全一致，将RLT偏差控制到＜2nm，同时其吞吐量显著高于步进式的佳能NIL设备。

　　此外，璞璘PL-AS作为气压式设备结构较DUV更为简单，无需昂贵的光学系统，还可以使用寿命更长的复合模板，这是其具备显著成本优势的原因。